,林蘭英博士提出用爐體抽成真空來進行拉制,也即是所謂的直拉法。
此法早在一九一七年由切克勞斯基建立的一種晶體生長方法。
採用這種直拉法生長單晶的裝置和工藝比較簡單,容易實現自動控制,生產效率高,易於製備大直徑單間,也容易控制單晶中雜質濃度,同時可以製備低電阻率單晶。
對外國來說,直拉法所需要的裝置很簡單。
但對於國內來說,卻相當複雜。
比如說主機部分,機架和雙立柱結構。雙層水冷式爐體。真空系統等。
現如今還欠缺幾樣裝置,如籽晶部件,包括磁流體密封座。伺服電機系統等,還有坩堝升降機構等。
馮裕慶的意思非常簡單,那就是讓周志民解決伺服電機系統這個部分。
主機部分和加熱系統,他們半導體實驗室已經有了思路,基本上可以解決。
「可以,我試一試,不過需要研發資金。」
周志民聽完對方的要求之後,當即便答應了下來。
伺服電機系統的功能要求,並不高,雖然跟電液壓伺服控制系統,好像沒有兩樣,但實際上還是有區別的。
二者之間的區別在於能量轉換方式。控制精度及適用場景。
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