2. 方法可重複性存疑：對測試用模擬晶錠的規格、測溫點的佈置和資料處理演算法，昭栄提出了詳細的疑問，認為“細節描述不夠充分，可能影響不同實驗室間的測試結果可比性”。

3. 國際標準協調：委婉地建議草案起草方“充分參考和借鑑已有的國際半導體裝置與材料協會（SE）相關標準框架”，以確保中國標準“與國際接軌”。

公函的落款處，除了昭栄的標準部，還有一位聯合署名者——技術顧問，高橋健一。

“典型的國際巨頭打法。”沈南星在內部會議上分析，“先禮後兵，用專業質疑來挑戰方法的合理性和權威性，同時高舉‘國際接軌’的大旗，潛臺詞是我們的標準‘不夠國際化’或‘過於特立獨行’。”

張明遠則更關注技術內容：“他們的質疑點抓得很準。我們的方法確實對裝置要求高，細節上也還有完善空間。但之所以這麼定，恰恰是因為‘琉璃’專案對材料一致性有極端要求，我們必須從一開始就把標杆立高。這是應用倒逼的標準。”

“他們想把標準拉低到他們舒適，或者說，他們能輕易主導的範圍內。”陸晨總結，“西南所那邊什麼態度？”

“陳主任剛來過電話。”沈南星說，“他們認為昭栄的反饋在意料之中，也是標準制定過程的正常環節。西南所會組織起草組內部會議，逐條研究並準備回應。陳主任強調，關鍵是要把我們方法背後的‘國家重大需求背景’和‘高可靠性導向’向其他參與單位解釋清楚，爭取更多支援。”

標準之爭的第一回合，在看似平和的公文往來中拉開了序幕。這不再僅僅是技術優劣之爭，更是產業話語權和未來技術路線的爭奪。

就在標準公函抵達的第二天，李明愷在課題組辦公室的公共資料架上，發現了一份不應該出現的東西 一份關於“等離子體輔助化學氣相沉積（PACVD）技術中鹵素前驅體殘留影響”的國外學術會議論文集影印件，被人隨意地放在一堆過期的行業期刊裡。

這份論文集的專業性很強，絕非普通資料。他立刻檢查了資料架附近的監控（課題組辦公區有內部監控），發現前一天晚上，渡邊綾曾在資料架前停留，似乎翻閱過一些資料，但監控角度看不到她是否放下了這份論文集。

是渡邊不小心遺落的？還是有人故意放置？如果是故意的，目的是什麼？是暗示？是警告？還是又一次試探？

李明愷不動聲色地將論文集收起，帶回了自己辦公室。他翻閱了一下，裡面有多篇論文涉及含氯、含氟前驅體在沉積過程中產生的副產物對裝置效能和薄膜質量的影響，其中一篇甚至提到了“特定副產物可能導致電子束成像出現週期性襯度異常”。

他的心猛地一跳。這幾乎是在明示！

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