國家級光刻機專案正式立項的訊息,在國核心心科技圈掀起了滔天巨浪。從工信部到中科院,從水木大學到各大裝備製造企業,所有相關力量迅速集結,一張覆蓋全國的光刻機攻關大網,悄然鋪開。
立項會議結束的第二天,林辰便把整個團隊拉進了光刻機專項攻關組的第一次全體會議。會議室不大,卻坐得滿滿當當——有機電控制專家、光學工程師、精密測量研究員、結構設計工程師,還有蘇晚帶領的材料團隊骨幹,每個人臉上都寫著緊張與期待。
林辰站在最前方,身後的大螢幕上,是一整幅光刻機整機分解圖。最顯眼、最核心、標註著紅色警告的位置,只有一個模組:
雙工件臺系統。
“各位,我們今天不開務虛會,首接講最難、最急、最卡脖子的部分。”林辰的聲音乾脆利落,“光刻機想要跑起來,雙工件臺就是兩條腿。腿邁不動,整機就是一堆廢鐵。”
現場瞬間安靜下來。
所有人都清楚,雙工件臺是光刻機的心臟之一。簡單說,它要在奈米級精度下,完成高速運動、精準定位、即時切換、穩定減震西大死命令。一邊要以每秒幾米的速度瘋狂往返,一邊誤差不能超過一根頭髮絲的萬分之一。
全球能做頂級雙工件臺的玩家,一隻手都數得過來,而且全部在西方聯盟手裡,對華夏實施技術封鎖+產品禁運雙重絞殺。
“我們之前完全空白,沒有圖紙,沒有樣機,沒有工藝積累,更沒有外部技術支援。”林辰語氣平靜,卻字字戳心,“但國家給我們的時間視窗很短,我們必須在一年內,拿出第一臺國產驗證樣機。”
底下有人倒吸一口涼氣。
一年?
業內公認,從零到一突破雙工件臺,正常節奏至少三到五年,這己經是神速。
林辰像是看穿了眾人的心思,抬手點向螢幕上的結構示意圖:
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